超純水是在純水的基礎(chǔ)上進(jìn)一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計(jì)，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達(dá)18.20MΩ*cm。
1.電導(dǎo)率不同，純水電導(dǎo)率在2-10us/cm之間，超純水的電導(dǎo)率為0.056us/cm；
2.制造的難易程度不同，市場上使用的純水基本上都是經(jīng)過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是在純水的基礎(chǔ)上還要經(jīng)過光氧化技術(shù)、精處理和拋光處理等一系列復(fù)雜的純化技術(shù)制得的。
3.重金屬、細(xì)菌、微粒數(shù)等指標(biāo)也大不相同，純水雜質(zhì)含量是ppm級，而超純水為ppb級，簡單地說超純水中已經(jīng)沒有什么雜質(zhì)，接近于理論上的水。
4.使用的領(lǐng)域也不相同；
5.對輸送管道材質(zhì)的要求也不相同，超純水對輸送管道材質(zhì)的要求要比純水嚴(yán)格的多。
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